سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

داوود آقاعلی گل – آزمایشگاه واندوگراف، پژوهشکده علوم هسته ای
پروین اولیائی –
علی باقی زاده –
فرح شکوهی –

چکیده:

آنالیز با باریکه یونی ابزاری توانمند در آنالیز و مشخصه یابی مواد است. برخی از این روشها مانند پیکسی به صورت روزمره از سال ۱۳۵۵ در آزمایشگاه واندوگراف به کار می رود. استفاده از روشهای دیگری مانند میکروپیکسی و چانلینگ و ERD از سال ۱۳۷۸ آغاز شد. در این مقاله پس از مروری کوتاه بر روشهای آنالیز با باریکه یونی که در آزمایشگاه ما به کار می رود به کاربرد این آنالیزها در مشخصه یابی مواد و بخصوص لایه های نازک می پردازیم و با ذکر مثال توانمندی های این روشها را نشان می دهیم.