سال انتشار: ۱۳۸۴

محل انتشار: سیزدهیمن کنفرانس مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

محمدباقر رحمانی – آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، دانشگاه فردوسی مشهد
سیدحسین کشمیری – آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، دانشگاه فردوسی مشهد

چکیده:

در این مقاله نتایج ساخت و تعیین ویژگی های حسگرهای گاز لایه نازک اکسید ایندیوم گزارش شده است . نمونه ها به روش تبخیر حرارتی بر روی زیرلایه شیشه ای تهیه شدند . اثر افزودن ناخالصی های Sb ، Se ، Ni ، Cr ، و Cd بر حساسیت این نمونه ها به ppm 2000گاز هیدروژن در فشار آتمسفر مورد مطالعه قرار گرفت . نتایج حاصله نشان داد که ناخالصی Ni بیشترین حساسیت را ایجاد می کن د . نمونه های اکسید ایندیوم تبخیری با نمونه های SnO2 که به روش اسپری هیدرولیزیز تهیه شد ه بود، مورد مقایسه قرار گرفتند . نتایج نشان داد که به طور کلی، لایه های تبخیری حساسیت بالاتری به گاز هیدروژن دارند . در حالی که لایه های اسپری شده رانش کمتر و پایداری بیشتری را در دراز مدت از خود نشان می دهند .