سال انتشار: ۱۳۸۱

محل انتشار: چهارمین کنگره سرامیک ایران

تعداد صفحات: ۱۰

نویسنده(ها):

پرویز میرآخورلی – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
مرتضی تمیزی فر – دانشگاه علم و صنعت ایران
مجید لمسه چی – سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران

چکیده:

به منظور افزایش چقرمگی (Toughness) و مقاومت به سایش ابزارهای برشی را با یک لایه نازک (Thin films)پوشش می دهند پوششهای سرامیکی TinوTiCوAl2O3 موادی هستند که از مدت ها پیش مورد استفاده قرار گرفته اند.
تکنیک CVD (رسوب گذاری از فاز بخار) از دهه هشتاد میلادی دارای سوابق اندک دانشگاهی در ایران می باشد در این مقاله با طراحی و ساخت راکتور در سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران پروسه پوشش دهی TiN (نیترایدتیتانیم) به روش CVD انجام گرفته و اثر نسبت مولی گازهای شرکت کننده در واکنش به عنوان عامل اصلی در سرعت رسوب گذاری مورد بررسی و مطالعات ریز ساختارها و سطح مشترک پوشش و زمینه از طریق SEMوXRD و سختی و زبری سطح و میزان چسبندگی پوشش مورد ارزیابی قرار گرفته است ضمن این که عوامل منفی در پروسه مشخص شده است.