سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: پانزدهمین کنفرانس اپتیک و فتونیک ایران

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

ایمان معدل حقیقی – دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
محمد تقی توسلی – دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
خسرو حسنی – دانشکده فیزیک دانشگاه تهران

چکیده:

دراین مقاله روش اندازه گیری ضخامت لایه های نازکی که به صورت پله در:آمده باشند با استفاده ازپراش فرنل ازپله دربازتاب مطالعه شده است دراین مطالعه با استفاه ازدوطول موج ۵۳۲و ۶۳۳ نانومتر چند ضخامت درگستره چندین نانومتر تا ۶۰۰ نانومتر اندازه گیری شده است دقت اندازه گیری درحدود ۵ نانومتر است این روش باری لایه های با ضخا مت بیش ازطول موج نیزقابل استفاده است انجام روش ساده است وامکان اندازه کیری درزاویه های فرود مختلف دقت و اطمینان ازنتیجه را بطور چشمگیری افزایش می دهد .