سال انتشار: ۱۳۷۶

محل انتشار: اولین کنگره سالانه انجمن مهندسین متالورژی ایران

تعداد صفحات: ۸

نویسنده(ها):

حامد کیپور – دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
محمود حیدرزاده سهی – دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
حمید کاشانی – دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
مجید لمسه چی – دانشکده فنی دانشگاه تهران سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران

چکیده:

دراین پژوهش نقش دما بررسوب گذاری TIN به روش CVD دریک راکتور افقی بررسی گردید نتایج بدست آمده نشان میدهد که با افزایش دما سرعت رسوب گذاری افزایش می یابد درمحدوده دمایی ۹۶۰ تا ۱۱۳۰ درجه سانتیگراد سرعت انجام واکنش درسطح کنترل کننده سرعت رسوب گذاری است و انرژی اکتیواسیون لازم برای انجام واکنش حدود ۹۶ کیلوژول برمول است نتایج بدست آمده همچنین نشان میدهد که با افزایش دمای زبری سطح و اندازه دانه رسوب TIN کاهش و سختی پوشش افزایش می یابد