سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: دومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

رضا رسولی – دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف
محمدمهدی احدیان – دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف
اعظم ایرجی زاد – دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف، پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانش

چکیده:

در این مقاله انباشت سطحی زیرلایه مس حین لایه نشانی نیکل در خلاء مورد بررسی قرار گرفته است. به منظور بررسی سطح در مقیاس نانومتری از روش طی فسنجی فوتوالکترون اشعه( XPS) X و طی فسنجی الکترون اوژه ( AES) استفاده گردید. نتایج نشان م یدهد انباشت سطحی مس حین لای هنشانی با افزایش ضخامت لایه نیکل کاهش یافته و در ضخامت بیش ازnm مشاهده نمی گردد. تحلیل نتایج XPS 4به روش توگارد و همچنین شدت نسبی قل هها نشان می دهد که در ضخامت nm2 مس انباشته شده به صورت یکنواخت و با ضخامت تک لایه اتمی بر روی سطح قرار گرفته است. همچنین با اندازه گیری زاویه تماسی قطرات میکرولیتری آب، انرژی سطحی نمون هها انداز هگیری و غلظت عناصر محاسبه گردید. آزمایش زاویه تماسی نشان داد که با کاهش ضخامت لایه نیکل، انرژی سطحی نمون هها کاهش یافته و به انرژی سطحی مس نزدیک م یشود.