سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۱۰

نویسنده(ها):

مهدی گودرزی – دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی شریف دانشکده فیزیک، آزمایشگاه تح
روح ا… عظیمی راد – دانشجوی دکتری، دانشگاه صنعتی شریف، دانشکده فیزیک، آزمایسگاه تحقیقات
امید اخوان – استادیار، دانشگاه صنعتی شریف، دانشکده فیزیک، آزمایسگاه تحقیقات اسپا
مرتضی فتحی پور – دانشیار، دانشکده فنی، گروه برق

چکیده:

دراین تحقیق نانو میله هایی اکسید تنگستن با حرارت دادن لایه نازک تنگستن در شرایط مشخص و کنترل شده که با روش اسپاترینگ مغناطیسی بر روی سطح زیرلایه های میکا سودالیم و کوارتز لایه نشانی شده رشد داده شدند.با استفاده از تکنیک میکروسکوپی الکترونی روبشی ریخت شناسی شکل ابعاد و توزیع آنها در سطح و همچنین با استفاده از پراش اشعه ایکس تعیین فازها و ساختار کریستالی نانو میله ها بررسی شدند.طول و پهنای نانو میله های رشد داده شده برروی زیر لایه سودالیم به ترتیب در محدوده ۱-۳و۲۷-۳۰۰ اندازه گیری گردید و جهت گیری رشد کریستالی آنها در راستای ۱۰۰ تعیین شدند.همچنین طول و پهنای نانو میله های رشد داده شده بر روی زیر لایه میکا به ترتیب در محدوده ۵-۲۰و۲۰۰-۵۰۰ و جهت گیری رشد کریستالی آنها در راستای ۴۰۰ تعیین گردید.برای روی سطح زیر لایه کوارتز دز شرایط مورد آزمایش هیچگونه نانو میله ای مشاهده نگردید.