سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۷

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

مجید مجتهدزاده – پژوهشکده تحقیقات کشاورزی،پزشکی وصنعتی
محبوبه بهرامی زنجانبر – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج
معصومه علیجان نژاد – مرکز تحقیقات فیزیک پلاسماواحد علوم و تحقیقات
محمود قرآن نویس – دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج

چکیده:

در این تحقیق بهبود میزان سختی لایه ZrN1-xCx بر روی استیل ۳۰۴ به عنوان تابعی ازنرخ جریان گاز متان در مخلوط گازی(Ar+N2) بررسی شد. لایه ها با استفاده از روش کندوپاش یونی در دمای°۴۰۰ انباشته شدند و سختی آنها با استفاده از تست سختی سنجی ویکرز با وزنه ۱۰ میلی گرمی انجام گرفت . با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) و تفرق اشعه XRD)X ) خواص میکرو و نانو ساختاری فیلمها مورد بررسی قرار گرفت . استوکیومتری با استفاده از تکنیک پس پراکندگی رادرفورد (RBS) و با استفاده از کدهای RUMP و SIMNRA دست آمد. نتا یج XRD حاکی از تغییر فاز کریستالی از ZrN بهZrC بود که این انتقال از طریق فاز ≤ x ≤ که ۱ ZrN1-xCx بوده انجام شده است. نتایج تست سختی سنج ی واستوک یومتری فاز به ینه از نظر سختی بالاتر تطابق بسیار خوبی با تئوری کوهن داشته است.