سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۱۴

نویسنده(ها):

بابک علی نژاد – دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه سمنان
علی حبیب الله زاده – دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه سمنان

چکیده:

در این مقاله به بررسی اثر پارامترهای اصلی پوشش دهی در طی رسوب گذاری دو لایه Ti-TiN بر فولاد HSSپرداخته شده است. اثر سه فاکتور اساسی فشار، دما و نرخ رسوب گذاری بر میکروسختی پوشش های مذکور بررسی شده است. نتایج آزمایش های فشار حاکی از عدم چسبندگی مناسب پوشش در فشارهای بالای فرایند (۱۰-۱torr) بوده و در فشار پایین (۳torr-10*5) ضمن بهبود چسبندگی پوشش اختلاف فاحش در میکروسختی پوشش تا میزان ۱۰RHC مشاهده شد. با تغییر در زمان بمباران یونی در اتمسفر آرگون، بررسی اثر دما در دو مقد ار ۳۵۰ درجه سانتیگراد و ۴۵۰ درجه سانتیگراد صورت گرفت. نتایج اندازه گیری ها مقدار ۵-۳ RHc میکروسختی بیشتر را در دمای ۴۵۰ درجه سانتیگراد نسبت به دمای ۳۵۰ درجه سانتیگراد نشان داده است . این اختلاف احتمالاً ناشی از نفوذ بیشتر اتم های پوشش در اتم های لایه در حال تشکیل، حاصل شده است.نرخ رسوب گذاری در سیستم مورد بحث دارای رابطه ای مستقیم با نرخ جریان یونی منتقل شده توسط پلاسما از هدف تیتانیم به نمونه است . آزمایشهای نرخ رسو بگذاری در دو جریان یونی ثابت ۱۰۰ آمپر و جریان افزایش یافته ۱۰۰-۳۰ آمپر انجام گرفت . مشاهده شد که در نرخ های بالای رسوب گذاری، مقدار میکروسختی به میزان ۵RHC کمتر از نرخ رسوب گذاری افزایش یافته ۱۰۰-۳۰ آمپر است این گونه به نظر می رسد که اتم های رسوب کننده در نرخ های کم رسوب گذاری فرصت بیشتری جهت نفوذ و چیدمان منظم دارند و در نرخ رسوب گذاری بالا پدیده پل زنی می تواند کیفیت پوشش در حال تشکیل را تحت تاثیر قرار دهد. به همراه این تحقیق شبیه سازی فرآیند مذکور (که برای اولین بار در ایران توسط اینجانب انجام شده است )
به صورت انیمیشن آورده شده است. به همراه این تحقیق شبیه سازی فرآیند مذکور (که برای اولین بار در ایران توسط اینجانب انجام شده است )به صورت انیمیشن آورده شده است.