سال انتشار: ۱۳۸۴

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۴

تعداد صفحات: ۳

نویسنده(ها):

فرشاد صحبت زاده لنبر – گروه فیزیک دانشگاه مازندران ، دانشکده علوم پایه ، بابلسر
هیروآکی نیشی میورا – دانشگاه اوزاکا،انیستیتو مهندسی لیزر، ژاپن

چکیده:

در این مقاله به بررسی پلاسمای ایجاد شده از قلع و اکسید های آن توسط لیزر پالسی نئودیمیم یگ می پردازیم . با ثبت بیناب تابشی پلاسمای مذکور، اثرات انرژی پالس لیزر، اندازه لکه ی لیزر ، چگالی قلع و اکسید های آن مورد بررسی قرار می گیرد . با استفاده از یک توان سنج کوچک در ناحیه EUV ، وابستگی شدت تابشی به زاویه ثبت بیناب نسبت به زاویه فرود لیزر بررسی می شود . گستره ی طیفی مورد علاقه از ۶ نانومتر تا ۲۲ نانو متر می باشد که در میکرو حکاکی مدار های مجتمع قابلیت کاربرد را دارد