سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین کنفرانس ماده چگال

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

عبدالعلی ذولانواری – گروه فیزیک دانشگاه اراک ، خیابان شهید بهشتی ، اراک
رضا مهردار قایمقامی –

چکیده:

دی اکسید تیتانیوم دارای فازهای بلوری آناتیس و روتیل است . لایه نازکی از TiO2 به روش کندوپاش روی زیر لایه شیشه انباشت شد . که فرایند لایه نشانی در سه دمای مختلف زیر لایه ۳۰۰ درجه کلوین، ۴۷۳ درجه کلوین و ۶۷۳ درجه در جو اکسیژن و آرگون و فشار کمکی اکسیژن صورت گرف ت . نتایج بدست آمده از دستگاه پراش اشعه x اسپکتروفوتومتر دو پرتویی نشان می دهند که با افزایش دمای زیر لایه و همچنین با افزایش فشار کمکی اکسیژن درشرایط ثابت مقدار تولید فاز بلوری آناتیس افزایش و از مقدارتولید فاز روتیل کم می شود.