سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۱۰

نویسنده(ها):

شهرام سیدین – کارشناس ارشد مهندسی مواد و عضو هیات پژوهشی مجتمع دانشگاهی مواد و فناو
پرویز بروجردیان – استادیار و عضو هیات علمی دانشگاه صنعتی مالک اشتر
کوروش جعفرزاده – استادیار و عضو هیات علمی مجتمع دانشگاهی مواد و فناوری های ساخت، دانشگاه
کریم زنگنه مدار – استادیار و عضو هیات علمی مجتمع دانشگاهی مواد و فناوری های ساخت، دانشگاه

چکیده:

ساخت نانووایرهای اکسیدی نیمه هادی، به روش تبخیر حرارتی مبتنی بر مکانیزم بخار – مایع – جامد، نیازمند بستر مناسب جوانه زنی و رشد تک جهته بر روی زیر لایه است. این بستر رشد که غالباً جزایر نانومتری از یک کاتالیست فلزی نظیر طلا است به روش های مختلف بر سطح زیر لایه ی رشد، ایجاد می گردد.در این تحقیق لایه کاتالیستی طلا با دو ضخامت ۷ و ۱۴ نانومتر با استفاده از روش تبخیر حرارتی، بر روی زیر لایه سیلیکونی لایه نشانی گردید. زیر لایه های حاوی لایه ی طلا با ضخامت های مختلف، در محیط گاز احیاء کننده در دمای ºC650 پخت شدند تا بستر جوانه زنی و رشد نانووایرهای اکسیدی حاصل آید.نتایج حاصل از آنالیز میکروسکوپ های نیروی اتمی (AFM) و الکترون روبشی (SEM) از زیرلایه های مذکور نشان داد که با احیاء سطح زیر لایه ها، زبری سطح نسبت به حالت احیاء نشده، اندکی افزایش می یابد و شکل گیری جزایر کاتالیستی بر روی سطح، منظم تر و توزیع قطری آنها یکنواخت تر می شود. همچنین قطر جزایر طلا در لایه ی کاتالیستی با ضخامت ۷ نانومتر کوچکتر از نصف قطر جزایر کاتالیستی حاصل از لایه ی ۱۴ نانومتری می باشد و در نتیجه بسیار مناسب تر برای دستیابی به ساختارهای شبه یک بُعدی با قطر زیر ۱۰۰ نانو متر خواهند بود