سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۱۳

نویسنده(ها):

مانی منتظری – دانشجوی کارشناسی مهندسی مواد و متالورژی دانشگاه علم و صنعت ایران
شاهرخ آهنگرانی – استادیار سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
منصور سلطانیه – دانشیار دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه علم و صنعت ایران
علی محمدی – کارشناس ارشد مهندسی مواد و متالورژی

چکیده:

فرایند رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما (PACVD) امکان ایجاد لایه های نازک روی زیرلایه های فولادی با اشکال هندسی پیچیده را در زیر دمای برگشت فراهم میکند.در این تحقیق به منظور بهبود ساختار و خواص کاربردی یک نوع فولاد ابزار گرم کار از فزایند PACVDبرای رسوب لایه های نازک نیترید تیتانیوم استفاده شد.بدین منظور گازهای Ar .n2 H2و بخار TiCl4با مجموع دبی ورودی ۲nl/minو نسبت n2h2=./22 در دمای ۵۴۰ درجه و فشار محفظه ۵-۳ mbarوارد محفظه پلاسما با جریان مستقیم پالسی شده و رسوب دهی به مدت ۹۰ دقیقه صورت گرفت در این آزمایشات از ۳ نسبت مختلف زمانهای روشنایی و خاموشی به عنوان پارامتر تاثیر گذار بر ایجاد لایه های Tinو خواص آنها استفاده گردید.به منظور بررسی لایه های ایجاد شده از آنالیز پراش اشعه ایکس میکروسکوپ الکترونیکی روبشی آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی و آزمایش نانو سختی سنجی استفاده شد.نتایج نشان داد که با افزایش نسبت Tpause/Tpauseرنگ پوشش به سمت طلایی میل کرده ودر انتها لایه تشکیل شده از یک رشد همسانگرد سطح صاف تر ضخامت بیشتر اندازه دانه های کوچکتر و نانو سختی بالاتر برخوردار گردید.بیشترین رشد لایه ها در بیشترین Tpause صورت گرفته که با مبانی تئوری موجود تطابق دارد.