سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۷

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

معصومه فیروزی آرانی – دانشکده فیزیک پلاسما، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران
هادی سوالونی – دانشکده فیزیک پلاسما، دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات، تهرا

چکیده:

تعدیلات نانوساختاری نمونه های ورقه نازک تیتانیوم (۵۰µm) کاشت شده با یونهای ازت با استفاده از آنالیزهای AFM ، XRD و SIMS مطالعه شده است. یونهای ازت با E=25 keV و شار (فرمول در متن اصلی موجود می باشد) در مدت ۱۶۰۰s و در دماهای متفاوت در نمونه های ورقه Ti کاشت شد. الگوهای XRD روند پیشروی نیتریدهای تیتانیوم را در موقعیتهای متفاوت در نمونه نشان می دهد. تصاویر AFM تغییرات واضحی را در ساختار دانه های ریز سطح ورقه تیتانیوم با افزایش دما نشان می دهد. چگالی و عمق نفوذ یونهای ازت کاشت شده در ورقه تیتانیوم با استفاده از آنالیز SIMS بدست آمد که مقدار بیشینه ای را در دمای مشخص در نمودار چگالی و همچنین نمودار عمق نفوذ نشان دهد که با نتایج XRD سازگار است. این پدیده را می توان بر اساس گاز باقیمانده، دمای زیر لایه، تجزیه آب موجود در محفظه خلأ و خاصیت گیراندازی تیتانیوم شده توجیه کرد.