سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۵

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

اکبر زنده نام – دانشگاه اراک ،گروه فیزیک،آزمایشگاه لایه نشانی
غلامرضا جعفری – دانشگاه شهید بهشتی،دانشکده ی فیزیک
منیژه خانقایی – دانشگاه اراک ،گروه فیزیک،آزمایشگاه لایه نشانی

چکیده:

از آنجا که صاف وصیقل و زبر بودن سطوح لا یه های نازک بستگی به روش وشرایط انباشت لایه دارد،در این کار تجربی لایه های نازک مس بـه روش کنـد وپـاش مگنترون روی شیشه های بی ریخت با آهنگ های متنوع لایه نشانی انباشت گردیده اند . با بهـره گیـری از میکروسـکوپ نیـروی اتمـی(AFM) ،زبریِ سطوح ولایه های مذکور برای ضخامت های متفاوت لایه ی نازک مورد مطالعه قرار گرفته و تأثیر عوامل انباشـت ( شـدت جریان،ولتـاژ و فشار ) روی آهنگ لایه گذاری و اثر آن روی زبری بررسی شده است و روابط آروینی نیز بین زبری و نرخ انباشت حاص ل گردیده کـه بـا نتـایج تجربـی همخـوانیِ خوبی نشان می دهد