سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: چهارمین همایش ملی عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۸

نویسنده(ها):

داوود رئوفی – استادیار دانشگاه بوعلی سینا همدان گروه فیزیک
بابک ژاله – استادیار دانشگاه بوعلی سینا همدان گروه فیزیک

چکیده:

دراین تحقیق لایه های نازک اکسید ابندیوم قلع (ITO) با ضهامت ۵۰nm به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر روی بستره شیشه ای در دمای اتاق تهیه شده اند. لایه ها پس از انباشت در گستره دماهای ۴۵۰-۲۰۰ درچه سانتی گراد در مجاورت هوا به مدت یک ساعت حرارت داده شده اند. تاثیر حرارت دهی بر ساختار لایه ها و نیز مورفولوژی سطح لایه ها مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج اندازه گیری های میکروسکوپ نیرو اتمی (AFM) تغییر ناهمواری سطوح لایه ها بر اثر حرارت دهی را نشان می دهند. نتایج حاصل از گرته های XRD نیز تغببر ساختار لایه های آمورف (بی شکل) به فاز بلوری را تایید می کنند. قله شدت بیشینه با جهت گیری ترجیهی صفحه (۲۲۲) در زاویه ۲ѳ=۳۰٫۵ درجه اتفاق می افتد و سایر قله ها در صفحات (۲۱۱)(۴۰۰)(۴۴۰) و (۶۲۲) مشاهده شدند.