سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

مریم قشلاقی – آزمایشگاه لایه نشانی ،پژوهشکده لیزر واپتیک
محمد هادی ملکی – آزمایشگاه لایه نشانی ،پژوهشکده لیزر واپتیک
سیدرضا شفاعی – آزمایشگاه لایه نشانی ،پژوهشکده لیزر واپتیک
هاشم حجتی راد – آزمایشگاه لایه نشانی ،پژوهشکده لیزر واپتیک

چکیده:

این مقاله تحقیقی تجربی پیرامون چگونگی لایه نشانی فلزات طلا و مس در انباشت لایه نازک می باشد.در نمونه های لایه نشانی شده با تغییر مقدار و چگالی مواد طلا و مس تعداد و نوع لایه ها تغییر نمود. نمونه های فوق الذکر توسط دستگاه لایه نشانی بالزر ۵۱۰ روی شیشه به روش PVD (انباشت فیزیکی بخار) ساخته شد. روش تبخیر مواد " تبخیر حرارتی " و فشار لایه نشانی
۶ -۱۰*۴ ور بود.وقتی در فرایند لایه نشانی از ۲,۵ گرم طلا و ۰,۵ گرم مس ,با دانسیته ۱۹,۳ g/cm 3 استفاده نمودیم , با آزمایشRBS معلوم شد که نمونه ساخته شده ۶ لایه دارد و اولین لایه بعد از شیشه دارای ۱۰ % طلا و ۹۰ % مس است.بنابراین می توان از این آینه به عنوان آینه داخلی استفاده نمود.