سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۳

نویسنده(ها):

داود کلهر – آزمایشگاه تحقیقاتی فیزیک حالت جامد- دانشکده فیزیک- دانشگاه علوم پایه
معصومه موسی رضایی – گروه فیزیک دانشگاه بین المللی امام خمینی- قزوین
مریم حسین پور – آزمایشگاه تحقیقاتی فیزیک حالت جامد- دانشکده فیزیک- دانشگاه علوم پایه
مرتضی عاصمی – آزمایشگاه تحقیقاتی فیزیک حالت جامد- دانشکده فیزیک- دانشگاه علوم پایه

چکیده:

در این مقاله ابتدا نحوه ساخت لایه نازک AZO به روش تبخیر حرارتی تشریح می شود. سپس مشخصات نوری مانند میزان عبور و گاف نوری آن مورد بررسی قرار گرفت. ضخامت لایه ها ۱۰۰ نانومتر بود, در کار حاضر زیرلایه از جنس شیشه و دمای زیر لایه در حین لایه نشانی ۱۵۰ درجه سانتی گراد انتخاب شد. پس از لایه نشانی, عملیات حرارتی به مدت یک ساعت در دو دمای ۴۵۰ و ۵۵۰ درجه سانتی گراد انجام شد.مشخصه نگاری نوری نمونه ها توسط طیف سنج نوری فرابنفش- مرئی انجام شد.