سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: دومین همایش دانشجویی فناوری نانو

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

مهدی زادسر – گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان
حمیدرضا فلاح – گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان
مرتضی حاجی محمودزاده – گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان
حمیدرضا رهنما – شرکت صنایع اپتیک اصفهان

چکیده:

بازده انباشت فیلم های نازک بر روی بستره های شیشه ای یک سیگمنت کروی به کمک شبیه سازی رایانه ای و روش مونت کارلو مورد مطالعه قرار گرفته است. انباشت لایه های نازک با عواملی چون آهنگ تبخیر، دمای بستره ها و شرایط هندسی حاکم بر سیستم لایه نشانی بشدت تغییر می کند. در این کار ابتدا فرایند انباشت این لایه ها شبیه سازی شده، تویع ضخامت محاسبخ شده با نتایج تجربی مقایسه گردیدهو سرانجام با طراحی حفاظ مناسب ، یکنواختی ضخامت حاصل شده است.