سال انتشار: ۱۳۸۳

محل انتشار: دوازدهیمن کنفرانس مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

علی معافی – آزمایشگاه لایه های نازک – دانشگاه تهران
محمدرضا کلاهدوز – آزمایشگاه لایه های نازک – دانشگاه تهران
مریم قشلاقی –
محمدرضا خورشیدی –

چکیده:

نتایج مقایسه حساسیت آرایه های ترموآوپلی با ترآیبات متفاوت آرم _ ژرمانیم و آرم_سیلیکن و ژرمانیم وهمچنین تاثیر میزان مقاومت ترموکوپل ها و قسمت گرماده افزاره بر روی
زیر لایه های شیشه ای گزارش می شوند. ترموآوپلهای ساخته شده از جنس آرم_سیلیکن و ژرمانیم برروی شیشه ای به ضخامت ۱۲۵μm ، نسبت به ترموآوپلهای مشابه ساخته شده از جنس آرمنیمه هادی ژرمانیم از حساسیت بیشتری برخوردار بوده و این میزان حساسیت با کاهش مقاومت بازوهای نیمه هادی ترمو کوپلی که در نتیجه آلایش توسط فلز مس صورت می پذیرد،کاهش می یابد. ایجاد غشای نازک در زیر قسمت گرماده افزاره باعث افزایش میزان حساسیت شده است .خواص الکتریکی فیزیکی حسگرهای ساخته شده و
نیز لایه های نشانیده شده مورد بررسی قرار گرفته اند.