سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: اولین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

نقی شاملی – دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز – پژوهشکده فیزیک کاربردی و ستاره شناسی دان
منوچهر کلافی – دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز – پژوهشکده فیزیک کاربردی و ستاره شناسی دان

چکیده:

کارآیی آشکار ساز های میکروبالومتری به نحو چشمگیری به مشخصات گرمایی ساختار پیشنهاد شده برای چنین آشکارسازهایی و همچنین استفاده از مواد مناسب به عنوان ماده حساس ، بستگی دارد . در این مقاله یک ساختار بهینه برای افزایش کارآیی یک آشکارساز میکروبالومتر پیشنهاد شده است . این ساختار شامل یک لایه جذب کننده سیلیکون آمورف ، یک لایه حمایت کننده نیترید سیلیکون یک لایه حساس شامل وانادیم – تنگستن – اکسیدو یک لایه منعکس کننده شامل کروم میباشد . محاسبات انجام شده باعث به دست آوردن ماکزیمم آشکار پذیری ویژه در فرکانس قطع متناوب ۲۵hz و جریان بایاس ۱۳ میکروآمپر شده است .