سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: هشتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

داود رئوفی – مربی، دانشگاه اصفهان و دانشگاه بوعلی سینا
احمد کیاست پور – استاد دانشگاه اصفهان
حمیدرضا فلاح – استادیار، دانشگاه اصفهان
امیرسید حسن روضاتیان – استادیار، دانشگاه اصفهان

چکیده:

در این تحقیق لایه های نازک اکسید ایندیوم آلاییده با قلع (ITO) به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر روی بستره شیشه ای در دمای اتاق تهیه شده اند. لایه ها پس از انباشت در دماهای مختلف، گستره ۲۰۰-۴۵۰ درجه سانتیگراد در مجاورت هوا و به مدت یک ساعت حرارت دهی شده اند. تأثیر عملیات حرارت دهی بر روی ساختار لایه ها و همچنین مورفولوژی سطح آنها مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج طیفهای XRD تغییر ساختار لایه های آمورف (قبل از حرارت دهی) به فاز بلوری را تأیید می کنند. قله شدت پیشینه به جهت گیری ترجیهی صفحه (۲۲۲) مربوط می شود که در زاویه ۳۰/۵=۲۰ درجه سانتیگراد اتفاق می افتد و سایر قله ها در صفحات (۲۱۱)، (۴۴۰) و (۶۲۲) مشاهده می شوند. نتایج اندازه گیری های مسکروسکوپ نیرو اتمی (AFM) تغییر ماهواره ای سطوح لایه ها بر اثر دمای بازپخت را نشان می دهند. همچنین، نمای ناهمواری لایه ها، a، که از طریق تابع وابستگی ارتفاع- ارتفاع محاسبه شده است. در گستره ۰/۹۱-۰/۷۴ (نزدیک به واحد) قرار دارد. بیشنه ناهمواری سطح (rms) و کمینه a مربوط به لایه باز پخت شده در دمای ۳۵۰ درجه سانتیگراد می باشد.