سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۶

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

زهرا مبینی – گروه فیزیک دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران
طیبه قدس الهی – دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی شریف، تهران، م رکز تحقیقات فیزیک نظری و ری
عزیزاله شفیع خانی – گروه فیزیک، دانشگاه الزهرا، تهران ،مرکز تحقیقات فیزیک نظری و ریاضیات
محمدعلی ساقی – دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی شریف، تهران، م رکز تحقیقات فیزیک نظری و ری

چکیده:

برای ساخت لایه های نازک کربن شبه الماس بی ریخت با ناخالصی فلز از روش انباشت از فاز بخار شیمیایی با استفاده از پلاسمای ناشی از امواج رادیویی (RF ) و وارد کردن گاز استیلن استفاده کردیم . بدین ترتیب لایه های نازک کربن – مس را(Cu-DLC ) بر روی زیر لایه ی سیلیکن و شیشه رشد دادیم . پس از ساخت، لایه هادر دماهای متفاوت وزمان ثابت در حضور گاز آرگون با فشار اتمسفر باز پخت شدند . سپس به کمک طیف سنجی امواج ایکس (XRD) ، پس پراکندگی راترفورد (RBS) ، AFM و مقاومت سنجی ) ) four probe قبل و بعد از پخت ب ررسی شدند . مشاهده شد که با تغییرفشار اولیه می توان لایه هایی با مقاومت الکتریکی متفاوت داشت، با افزایش دما در باز پخت نمونه ها، ضخامت، مقاومت الکتریکی و زبری سطح کاهش می یابد . در ضمن افزایش دما تا حدی باعث رشد نانو دانه های مس می گردد .