سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: پانزدهمین کنفرانس اپتیک و فتونیک ایران

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

داود کلهر – دانشکده فیزیک ، دانشگاه علوم و پایه دامغان
سید احمد کتابی – دانشکده فیزیک ، دانشگاه علوم و پایه دامغان
حسن ریسیان امیری – دانشکده فیزیک ، دانشگاه بین المللی امام خمینی (ره) قزوین
اکبر ابراهیم زاده – دانشکده فیزیک ، دانشگاه علوم و پایه دامغان

چکیده:

در این تحقیق اثر باز پخت روی ویژگی های نوری و الکتریکی فیلم های چند لایه ای ITO/Ag/ITO ساخته به روش تبخیر حرارتی مورد بررسی قرار گرفته است نمونه ها روی بستر شیشه ای و در دمای اتق لایه نشانی شده اند سپس به مدت یک ساعت در دماهای ۳۰۰ تا ۵۴۰ درجه سانتی گراد حرارت دهی شدند پس از بازپخت تغییر شفافیت و رسانندگی فیلم ها مشاهده شد با کنترل مناسب پارامترهای لایه نشانی فیلم های با کیفیتی با شفافیت حدودا ۷۰% و با مقاومت متوسط cm 3.7*10 بدست آمد ساختار دانه ای فیلم ها و مورفوژی سطح آن ها به ترتیب استفاده از دستگاه پراش اشعه ایکس و میکروسکوپ الکترونی روبشی مورد مطالعه قرار گرفت مشاهده شد که با افزایش دما اندازه ریز بلورک ها