سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: اولین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

هانیه افخمی اردکانی – تهران – اوین – دانشگاه شهید بهشتی – پژوهشکده لیزر و پلاسما
سید حسن توسلی – تهران – اوین – دانشگاه شهید بهشتی – پژوهشکده لیزر و پلاسما

چکیده:

روش طیف سنجی تخلیه لیزری به دلیل قابلیتی که در انجام سریع و بدون تماس آنالیز مواد دارد . در ضخامت سنجی لایه ها به کار میرود . در این مقاله با استفاده از این روش به مطالعهه تجربی نمونه های آلومنیومی لایه نشانی شده با مس به ضخامت های ۱۰ ، ۲۰ ، ۳۰ ، ۵۰ µmپرداخته میشود . در این آزمایشات از هماهنگ چهارم لیزر Nd:YAG در طول موج ۲۶۶ نانومتر استفاده شده و تاثیر انرژی های مختلف لیزر ، ۷ ، ۱۰ ، ۱۴ mJ ، بر فرایند کندگی مورد بررسی قرار میگیرد . آزمایش بر روی نمونه های چند لایه ای نشان میدهد که این روش قادر به تشخیص ضخامت لایه های مختلف در چند لایه ای ها است .