سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: چهاردهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک

تعداد صفحات: ۸

نویسنده(ها):

مهدی مشایخ – دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی مکانیک دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدی
مجید علی فانی – استادیار دانشکده مهندسی مکانیک دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
محسن بهرامی – دانشیار دانشکده مهندسی مکانیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر

چکیده:

تکنولوژی سیستم های میکرو الکترو مکانیکی یا MEMS یک تکنولوژیی است که برای تولید دستگاههای یکپارچه کوچک با سیستم هایی که اجزاء الکتریکی و مکانیکی را با هم ترکیب می کنند به کاربرده می شود . این سیستم ها با به کاربردن تکنیک های پردازش دسته ای و مدارهای مجتمع IC ساخته می شوند بطوری که ازلحاظ اندازه درمحدوده چندمیکرون تامیلی متر می باشند .
میکرو کانال ها که با استفاده تکنولوژی MEMS ساخته می شوند کاربردهای گسترده ای در صنعت از قبیل میکرو پمپ ها ، دز دارو و … دارند . این مقاله در ابتدا به معرفی این سیستم ها و سپس به بررسی جریان های لغزشی میکرو سیال و پارامترهای موثر برتوزیع دبی و سرعت در میکرو کانال MEMS می پردازد