سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: دومین همایش دانشجویی فناوری نانو

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

امیرمحمد قندهاریون – دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه فردوسی مشهد
سمانه قندهاریون – دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه فردوسی مشهد

چکیده:

سازه های یک سر گیر دار از جنس سیلیکون و در مقیاس میکرو در بسیاری از انواع تحریک های فیزیکی، شیمیایی و بیوشیمیایی مورد استفاده قرار می گیرند . امروزه استفاده از شکل های رزونانسی با مرتبه های بالاتر، به دلیل امکان دستیابی به دقت مناسب تر، بیشتر مورد توجه است . با استفاده از بررسی میکروسکوپی از روش تداخل امواج نوری، می توان رفتار دینامیکی یک سازه ی یک سر گیر دار مشخص۱۰۰ × ۵۰۰ × ۱m 3 به توان ۳ در یک آرایه ی متشکل از هشت سازه ی یک سر گیر دار را در بسامد های بین ۰ تا ۱MHz مورد تحلیل قرار داد . در این جا از اطلاعاتی استفاده می کنیم که تجسم فضایی ۱۶ شکل ارتعاشی سازه های یک سر گیر دار با دامنه هایی در مقیاس نانومتر را ممکن می سازد . به همراه این اطلاعات، محاسبات مربوط به تحلیل اجزاء محدود نیز ارائه شده اند .