سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۱۱

نویسنده(ها):

محمد رضا بهفروز – گروه فیزیک – دانشگاه آزاد اسلامی واحد مهاباد

چکیده:

با استفاده از دستگاه " پرتابه مگنترون جریان یکسو " در درون پلاسمای آرگون، لایه های بسیار صاف ایریدیم در روی زیر لایه ابر صیقل شده سیلیکا لایه گذاری گردید . اثر پارامترهای روش لایه
گذاری در کیفیت ناهمواری لایه نیز مورد بررسی قرار گرفت . بعلاوه ثابت های اپتیکی لایه با استفاده از بیناب نمائی بیضی سنجی با زاویه متغیر در بازه طول موج فرابنفش تا میان فروسرخ تعیین گردید . همچنین اندازه گیری میزان ناصافی سطح لایه بوسیله میکروسکپی نیروی اتمی انجام گرفت.