سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۷

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

سمیه تن آرا – دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
صمد سبحانیان – دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
حسن بیدادی – دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
سیروس خرم – پژوهشکده فیزیک کاربردی و ستاره شناسی

چکیده:

پارامترهای پلاسما در تخلیه ی مگنترونی با استفاده از تکنیک تک -پروب اندازه گیری شده است. دمای الکترونی ، چگالی الکترونی در خلأ پایین و در حضور گاز آرگون مورد مطالعه قرار گرفته است . مشاهده گردید که دمای و چگالی الکترونی با کاهش فشار افزایش می یابد.