سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۹

نویسنده(ها):

محمد خراسانی – گروه فیزیک، دانشگاه شهید بهشتی

چکیده:

تنش لایه های فلزی Ag, Au, Zn, Cu, Al و Fe را که با روشPVD و کندوپاش (sputtering) در تعدادبیشماری تهیه شده اند، اندازه گیری نموده ایم. برای این منظور از زیر لایه های مضاعف شیشه و میکا به ابعاد ۱×۷۶×۲۵ و ۰٫۴۱×۵۰×۲۴ میلیمتر ( ۱۴۰ میکرون) متناسب با دستگاههای تبخیر استفاده شد. لایه ها در شرایط تقریبا یکسان با تغییر پارامترهای تبخیر و با ضخامت های مختلف رسوب د اده شدند . عمل تبخیر در خلاء و در فشارهای حدود (در متن اصلی موجود می باشد) تور در روش PVD و در فشار حدود (در متن اصلی موجود می باشد) تور در روش کندوپاش انجام گرفت و با اعمال شدت جریانی مناسب با فیلامنت به صورت فنر یا سبد برای فلزات با نقطه ذوب بالا و به صورت قایق از جنس مولیبدن یا تنگستن برای فلزات با نقطه ذوب پایین لایه نشانی انجام گردید. ماده لایه ها روی زیر لایه ها به قطر ۱۴۰ میکرون که از یک طرف روی زیر لایه دیگری به قطر یک میلیمتر ثابت شده، رسوب داده شده اند. با اندازه گیری شعاع خمش زیر لایه در اثر تنش ماده لایه و ضخامت لایه به روش اپتیکی تنش لایهها تعیین شدند. نتایج نشان داده اند که هرقدر ضخامت لایه بیشتر باشد شعاع خمش زیادتر و در نتیجه تنش لایه تا حدی افزایش می یابد . در ضخامت های خیلی کم دقت اندازه گیری شعاع خمش و در نتیجه تنش کمتر است . به علاوه دقت تعیین تنش لایه ها با نقطه ذوب پایین مانند Zn و Cd در ضخامت های زیاد به علت کاهش چسبندگی در محدوده ضخامت معین امکان پذیر است.