سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: دومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

محمد خراسانی – گروه فیزیک دانشگاه شهید بهشتی اوین.تهران
داود کلهر – جهاد دانشگاهی شریف. تهران

چکیده:

لایه های ترکیبات تیتانیوم با سختی و نقطه ذوب بالا و مقاو م در برابر مواد خورنده بر روی ادوات صنعتی و ابزار فولادی پر سرعت با کاربرد وسیعرا بصورت تک یا TiN و TiC –N , TiC مورد توجه صنعت و تحقیقات است و به لایه های محافظ موسوم اند. در این کار تحقیقاتی ترکیباتی از فلزات انتقالی دو لایه به قطر ۳-۴ میکرون بر روی ق طعات فولادی با روش PVD و CVDرسوب داده ایم . فشارهای کار برای رسوب این لایه ها حدود ۳× ۱۰ به توان۶ -و ۴× ۱۰ به توان ۴- پاسکال دردمای ۳۰۰-۵۰۰درجه سانتیگراد در حضور گاز از ت و متان انتخاب شده است. در نتیجه سختی اندازه گیری شده در یک سری لایه هاحدود ۶۲۰- ۴۶۰ و در سری دیگر ۵۰۰-۳۰۰ ویکرز تعیین شد . برای تایید سختی میزان ساییدگی و فرسایش لا یه هایTiC و TiC,N و TiN 400 و دو لایهTiC- TiN رسوب داده شده بر زیر لایه فولادی با یک قطعه فولاد پر سرعت بررسی و مقایسه گردید.