سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

حسن بیدادی – گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک
مجتبی پرهیزگار –
فرامرز هادیان –
صبا خداکریمی –

چکیده:

در این کار تجربی لایه های نازکی از تیتانیوم با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی تحت شرایط متفاوت بر روی زیر لایه های شیشه ای تهیه و تأثیر چهار پارامتر مهم دما ی زیرلایه، فشار گاز کاری (آرگن)، انرژی یون های تولید شده در پلاسما و فشار پایه بر روی چسبندگی این لایه ها به زیرلایه های شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است . نتایج حاصله نشان می دهد که چسبندگی لایه های نازک تیتانیومی به زیرلایه های شیشه ای با افزایش دمای زیرلایه افزایش ، با افزایش فشار پایه افزایش و با افزایش فشار گاز آرگن کاهش پیدا می کند . افزایش انرژی یونهای فرودی نیز موجب افزایش چسبندگی لایه ها به زیرلایه می گردد . همچنین علل تغییرات مشاهده شده در چسبندگی در اثر افزایش دمای زیرلایه، فشار گاز آرگن ، انرژی یونهای فرودی و فشار پایه مورد بحث قرار گرفته است.