سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین کنفرانس ماده چگال

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

حسین بیدادی – گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز
فرامرز زهادیان –
بیان کریمی –
علی رحمتی –

چکیده:

در این کار تجربی لایه های نازک نیتریدمس به روش کند و پاش مگنترونی واکنشی dc بر روی زیر لایه های شیشه ای تحت آهنگ شارش متفاوت نیتروژن و دمای ثابت زیر لایه نهشته شده اند. در اینجا وابستگی فشار جزئی نیتروژن به آهنگ شارش نیتروژن و همچنین نرخ نهشته، چگالی، درصد نیتریده شدن و مقاومت فیلمها به فشار جزئی نیتروژن نشان داده شده و علل تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفته است.