سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۵

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

فرامرز هادیان – گروه حالت جامد دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز
حسن بیدادی – گروه حالت جامد دانشکده فیزیک دانشگاه تبریز

چکیده:

در این کار تجربی فلز Ti بهصورت فیلم نازک با استفا ده از کندوپاش مگنترونی به روی بستر شیشه ای نشانده شده و تغییر آهنگ نهشت فیلم با فاصله کاتـد و زیرلایـه و همین طور فشار در سه حالت مختلف با منابع تغذیه RF و DCبطور جداگانه و با هم بررسی شده است . مقایسه نتایج تجربی حاصله نشان می دهند کـه آهنـگ نهـشت متناسب با در حالات مختلف ذکر شده در بالاست . در فشارهای بالاتر آهنگ نهشت به خاطر پراکندگی اتمهای کندوپاشی با مولکولهای گاز باقیمانده، کـاهش مـی یابد .