سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: دومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

سیامک عظیمی نام – پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی های نو ، سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ای

چکیده:

طرز تهیه و خواص الکتریکی لایـه های نازک پـایـدار آلیاژ نیکل و کروم که در محیط خلاء تبخیر شده ، در این مقاله شرح داده شده است . درایـن مـطالـعات لایه هایـی با ضخـامت چند صد انـگستـروم مورد تـوجـه قرار گـرفته که این لایه ها از آلیاژ نیـکل و کـروم ) %۸۰ نیکـل – %۲۰ کـروم ) بوسیله یک رشته تنگستن با استفاده از روش تبخ یر فلش در محیط خلاء تهیه شده اند . مهمترین پارامترها در تهیه لایه های پایدار نیکـل و کـروم ، درجـه حـرارت منبـع تبخیر و میزان خلاء و دمای سطح پایه لایه ها در هنگام تبخیر می باشند . برای اینکه آلیاژ لایه ها با آلیاژ منبع تبخیر یعنی %۸۰ نیکل – %۲۰ کـروم برابـر باشـن د ء درجـه حرارت منبع تبخیر باید حداقل ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد باشد . از نتایج حاصله از آزمایش ها ، درک گردیده که لایه های پایدار نیکل و کرومفقط در صورتی بـد سـت می آیند که دمای پایه لایه بیشتر از ۳۵۰ درجه سانتیگراد در محیط خلاء بالاتر از ۱۰ -۵ میلیمتر جیوه ب اشد . تمام لایه ها بروی پایه آلومینا در دمای ۳۹۰ درجهـانتیگراد
تبخیر ودر همین دما بعد از مدت ۸۰ در دقیقه پایدار گردیده است . آزمایش ها نشان داده است که ضریب مقاومت الکتریکی و ضریب مقاومت حرارتی لایه های نیکل وکروم به نرخ تبخیر و ضخامت لایه ها وابسته مـی باشـند و ایـن می تواند به سبب اثر اکسیدا سیون در هنگام ایجاد لایه ها بروی پایه آلومینا در زمان تبخیر باشد