سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۱۱

نویسنده(ها):

روح الله عشیری – دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی و علم مواد- دانشگاه صنعتی شریف
زیارتعلی نعمتی – عضو هیئت علمی {دانشیار}ء دانشکده مهندسی و علم مواد- دانشگاه صنعتی شریف
مرتضی ساسانی قمصری – عضو هیءت علمی{دانشجوی دکتری} – گروه اپتیک و اسپکتروسکوپی- پژوهشکده لیزر و

چکیده:

لایه های نازک با تیتانات باریم به علت داشتن خواص دی الکتریک مطلوب رفتار فروالکتریک و پیرو الکتریک مطلوب و خواص نوری کاربردهای فراوانی در خازن های چند لایه سنسورهاو لایه های نازک نوری دارند.از روش سل_ژل و تکنیک غوطه وری زیرلایه شیشه ای در سل برای تهیه لایه های نازک استفاده شد.از طیف سنجی FT-IR برای بررسی سل و UV-Vis در محدوده طول موجهای ۱۲۰۰-۳۰۰ نانومتری برای بررسی خواص نوری لایه نازک و از میکروسکوپ afm برای بررسی مورفولوژی سطحی لایه نازک استفاده شد.بررسی های نشان داد لایه های نازک تهیه شده دارای کیفیت سطحی مطلوب میباشند.