سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۵

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

یاسر عبدی – دانشکدة فیزیک ، پردیس علوم ، دانشگاه تهران ، آزمایشگاه لایه نازک، دان
شمس الدین مهاجرزاده – آزمایشگاه لایه نازک، دانشکدةمهندسی برق و کامپیوتر ، پردیس فنی ، دانش
عزت اله ارضی – دانشکدة فیزیک ، پردیس علوم ، دانشگاه تهران

چکیده:

نانولوله های عمودی بر روی غشای کوارتز به روش DC-PECVD رشد داده شده اند . برای ساخت این غشاء ، ویفر سیلیسیوم با جهت بلوری (۱۰۰) به صورت نا همسانگرد در محلول ۸ مولار KOH زدایش شده است . مخلوطی از گازهای هیدروژن و استیلن برای رشد نانولوله های کربنی استفاده شده و لایه ای از نیکل به عنوان کاتالیست بکار رفته است . نانولوله های حاصل با لایه نشانی اکسید تیتانیوم به روش تبخیر شیمیایی و در فشار اتمسفر، پوشانده شده اند . بعد ازمرحله صیقل دادن و سوزاندن نمونه و پس از برداشتن غشاء ، نانو ساختارهایی با دو سر باز، به دست آمده است . تحلیل SEM برای مطالعة این ساختارهای نانومتری مورد استفاده قرار رفته است .