سال انتشار: ۱۳۸۴

محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۴

تعداد صفحات: ۳

نویسنده(ها):

علی محمدی قیداری – پژوهشکده نیمه هادیها، پژوهشگاه مواد و انرژی، مشکین دشت،کرج، آزما یش
بهمن بهدین – آزما یشگاه لایه های نازک، دانشکده برق و کامپیوتر دانشگاه تهران، تهرا
ابراهیم اصل سلیمانی – پژوهشکده نیمه هادیها، پژوهشگاه مواد و انرژی، مشکین دشت،کرج
مسعود الله کرمی – آزما یشگاه لایه های نازک، دانشکده برق و کامپیوتر دانشگاه تهران

چکیده:

خواص الکترواپتیکی و ساختاری لایه های ITO بر حسب تابعی از دمای گرمادهی نهایی مورد بررسی قرار گرفت و دیده شد که در دمای ۴۰۰ درجه مقاومت سطحی لایه ها به کمترین مقدار خود رسیده و در این دما لایه ها در جهت (۲۲۲) کریستال شده اند . تاثیر خواص کریستالی لایه ها روی خواص الکترواپتیکی آنها نیز مورد بررسی قرار گرفته است