سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: نهمین کنفرانس ماده چگال

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

حسین ناصری – آزمایشگاه میکروشاره ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم
مهدی حبیبی – آزمایشگاه میکروشاره ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم

چکیده:

لیتوگرافی نرمیکی از مرسوم ترین روش های ساخت تراشه های میکرونی است. با این روش امکان تولید میکرو مدارات مجتمعو کانال هایی با ابعاد نانومتر امکان پذیر است. در این مقاله روش ساخت کانال های میکرونی با استفاده از روش لیتوگرافی نرم را ارائه می دهیم و نمونه ای از کانال هایی که با این روش ساخته ایم را زیر میکروسکوب تست کرده و به عنوان یک آزمایش نشان می دهیم طول پخش دو سیال در ابعاد میکرونی از مرتبه ی سانتی متر است.