سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

سعیده فرخی پور – گروه فیزیک، دانشگاه الزهرا
رضا ثابت دریانی –
عبدالله مرتضی علی –

چکیده:

هدف از این مقاله، ارائه یک روش فیزیکی برای ساخت نانوذرات تیتانیوم بر روی یک زیر لایه شیشه ای می باشد . روش فیزیکی مورد استفاده روش Glancing Angle Deposition" GLAD" نامیده می شود که برای اولین بار در سال ۱۹۹۸ توسط یک گروه تحقیقاتی کانادایی ارائه گردید[۱،۸،۹]. برای اینکه لایه نشانی دقیق و قابل کنترل باشد از روش گرما دهی پرتو الکترونی ( Electron beam heating) استفاده گردید. عکسهای SEM از مقطع بالا و مقطع عرضی نمونه های ساخته شده ، تایید کننده ساخت نانوذرات تیتانیوم می باشد.