سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۶

نویسنده(ها):

مهشید پورمند – دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف
مژگان چاوشی – دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف
نیما تقوی نیا – دانشکده فیزیک، دانشگاه صنعتی شریف

چکیده:

لایه های نازک دی اکسید تیتانیوم با روش (Liquid Phase Deposition) LPD ساخته شد ه اند. در این روش با استفاده از هیدرولیز آرام TiF4 در محیط آبی TiO2 تشکیل شده و شروع به جوانه زنی روی سطح زیرلایه آبدوست می کند.طیف عبور اپتیکی لایه ها نشان می دهد که این لایه ها عبور بالایی در ناحیه نور مرئی از خود نشان می دهند. همچنین تصاویر SEM بیان گر ساختار نانومتری لایه ها است و نشان می دهد که با افزایش زمان و دمای لایه نشانی اندازه دانه ها بزرگ می شوند . به علاوه میزان تخلخل وضخامت جرمی لایه ها و تغییرات آنها با پارامتر های رشد بررسی شده است.