مقاله شبيه سازي اثرات نوع آلايش و چگالي جريان در رشد سيليکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود که چکیده‌ی آن در زیر آورده شده است، در ۱۳۸۸ در علوم و مهندسي سطح از صفحه ۵۹ تا ۶۷ منتشر شده است.
نام: شبيه سازي اثرات نوع آلايش و چگالي جريان در رشد سيليکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود
این مقاله دارای ۹ صفحه می‌باشد، که برای تهیه‌ی آن می‌توانید بر روی گزینه‌ی خرید مقاله کلیک کنید.
کلمات مرتبط / کلیدی:
مقاله سيليکان متخلخل
مقاله انبوهش پخش محدود
مقاله شبيه سازي
مقاله ضريب چسبندگي
مقاله ميدان متوسط

نویسنده(ها):
جناب آقای / سرکار خانم: مينايي فرد سکينه
جناب آقای / سرکار خانم: ثابت دارياني رضا

چکیده و خلاصه‌ای از مقاله:
هدف از اين مقاله وارد کردن اصلاحاتي به مدل انبوهش پخش محدود مي باشد که بتواند اثرات نوع آلايش و چگالي جريان را در شکل ساختارهاي بدست آمده طي رشد سيليکان متخلخل شبيه سازي کند. براي تاثير نوع آلايش، ضريب چسبندگي و براي تاثير چگالي جريان، پارامتر ميدان متوسط را به مدل انبوهش پخش محدود اعمال کرديم. نتايج شبيه سازي نشان مي دهند که پارامتر ضريب چسبندگي در کنترل ضخامت خلل موثر است در حاليکه پارامتر ميدان متوسط ويژگي درختي يا ميله اي بودن خلل را کنترل مي کند. نتايج آن بر روي شبيه سازي رشد سيليکان متخلخل، نشان داد اصلاحات اعمال شده با تاثير اين دو پارامتر در شکل ساختارهاي شبيه سازي شده با نتايج نمونه هاي تجربي بدست آمده توافق و سازگاري دارند.