سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

کاووس میرعباس زاده – دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر، تقاطع خیابان حافظ سمیه، تهران
پیمان نایبی – گروه فیزیک دانشکده فنی مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد ساوه، ساوه
شهریار سرآمد – دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر، تقاطع خیابان حافظ سمیه، تهران
اسماعیل زمین پیما – دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر، تقاطع خیابان حافظ سمیه، تهران

چکیده:

در این مقاله به کمک شبیه سازی دینامیک مولکولی MD شاخصه های برخورد یک نانو خوشه نیکل با اندازه ها و انرژی های مختلف که در روش لایه نشانی باریکه نانو خوشه های یونیده ICBD استفاده می شود ، مورد بررسی قرار گرفت . انرژی خوشه ها eV/atom 20-1 تعداد اتمهای خوشه ها، ۱۴، ۴۷، ۱۸، ۵۵، ۸۷ و ۱۷۷ انتخاب شدند. در این تحقیق وابستگی سایز خوشه به حداکثر دمای زیر لایه در لحظه برخورد نانو خوشه به سطح و زمان رسیدن به دما مورد بررسی قرار گرفت . همچنین وابستگی سایز و انرژی خوشه ها به تعداد اتمهای جابجا شده در زیر لایه ، اتمهای پراکنش شده و اتمهای نفوذ یافته در زیرلایه بررسی شد .هر یک از این پارامترها نقش کلیدی در نوع لایه بوجود آمده دارند.