سال انتشار: ۱۳۸۷

محل انتشار: اولین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

ابراهیم بحرودی – تهران – اوین – دانشگاه شهید بهشتی – پژوهشکده لیزر و پلاسما
علی موسویان – تهران – اوین – دانشگاه شهید بهشتی – پژوهشکده لیزر و پلاسما
حمید لطیفی – تهران – اوین – دانشگاه شهید بهشتی – پژوهشکده لیزر و پلاسما

چکیده:

یکی از ابزارهای بسیار مفید برای بدست آوردن توپوگرافی سطوح ، استفاده از سامانه های میکروسکوپ هم کانونی میباشد. در این مقاله ابتدا یک سامانه میکروسکوپی هم کانونی نور سفید توسط نرم افزار طراحی اپتیکی Zemax شبیه سازی شده است . سپس چیدمان آزمایش صورت گرفته و نتیجه آزمایش با شبیه سازی مقایسه شده است و در نهایت توسط تکنیک پردازش تصویر به جای استفاده از دستگاه طیف سنجی ، توپوگرافی یک سطح اندازه گیری شده است .