سال انتشار: ۱۳۹۰

محل انتشار: دومین همایش ملی مهندسی اپتیک و لیزر ایران

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

مجتبی مقبل الحسین –
احسان بازوند – دانشگاه شهیدچمران.گروه فیزیک.اهواز.ایران
فاطمه همایون – دانشگاه شهیدچمران.گروه فیزیک.اهواز.ایران

چکیده:

با استفاده از یکسامانه اپتیکذرات باردار میتوان پرتوی از الکترون ، تولید و آنرا منحرف ، یا در یکنقطه کوچک متمرکزنمود. از پرتوهای الکترونی با چگالی جریان ثابت برای تبخیر مواد درلایه نشانی استفاده میشود.در این مقاله شبیهسازی تفنگالکترونی با کاتد ترمویونیکبرای لایه نشانی به روشتبخیر فیزیکی را انجام دادهایم.برای شبیه سازی پرتو الکترونی از کدمحاسباتیEBSLITE2.0 استفاده شده است.در نهایت به پرتو الکترونی شبیه سازی شدهای با شعاع پرتو۰/۰۹mm و توانی برابر با۵/۲۵KVA دست یافتیم.