سال انتشار: ۱۳۸۶

محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۴

نویسنده(ها):

محمد رضا اشرفی – آزمایشگاه نانوالکترونیک ، دانشکده برق ، دانشگاه صنعتی شریف
علی کاشفیان –
بیژن رشیدیان –

چکیده:

در این مقاله روشی جهت اندازه گیری تابع دی الکتریک مختلط و ضخامت فیلم های خیلی نازک به صورت همزمان، در طول پروسه لایه نشانی ارائه می شود. برای این منظور دستگاه معادلات شدت نور بازتابیده و عبوری تحلیل گردیده و اجزاء حقیقی و موهومی تابع دی الکتریک و همچنین ضخامت فیلم در حال لایه نشانی بدست می آیند. نتایج عملی توسط یک سیستم طراحی شده برای دریافت بلادرنگ داده های شدت نور، برای لایه نشانی فلز آلومینیوم در دو طول موج لیزر برابر ۶۵۰ نانومتر (نور قرمز روشن) و ۷۸۰ نانومتر (نور مادون قرمز نزدیک) روی بستر شیشه ارائه شده اند.