سال انتشار: ۱۳۹۳
محل انتشار: دومین کنفرانس دستاوردهای نوین در مهندسی برق و کامپیوتر
تعداد صفحات: ۷
نویسنده(ها):
محسن مظفری – دانشجوی دانشگاه آزاد اسلامی واحد نور
حبیب اله آدرنگ – عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد اسلامی واحد نور
سید صالح قریشی – عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد اسلامی واحد نور

چکیده:
با مطالعه و بررسی بر ساختار سیستم داخلی رزوناتور BAW و همچنین قابلیت های فناوری MEMS بر روی این ساختار از رزوناتور میکرو الکترومکانیکی سیلیکونی به عنوان یک جایگزین مناسب برای کریستال های کوارتز استفاده می کنند. از آنجا که رزوناتور BAW بهترین و پرکاربردترین مدل در میکرو رزوناتورهای MEMS است و به دلیل خاصیت ارتعاشی و ساختار ساده آن مورد توجه طراحان قرار گرفته و همچنین متغیرهای مکانیکی رزوناتور را می توان متناظر با متغیرهای الکتریکی به منظور رفتار یک رزوناتور مکانیکی با پارامترهای استاندارد یک مدار RLC جهت سهولت در محاسبات معادل کردولی با این وجود این مدل از رزوناتور در حین ارتعاش به دلیل عواملی همچون نویز و حرارت ممکن است بعد مدتی دچار آسیب شود که برای رفع این مشکل ا خازن دیبانس استفاده می کنند.