سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: چهاردهمین کنفرانس مهندسی برق ایران

تعداد صفحات: ۵

نویسنده(ها):

علیرضا صالحی – دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی، دانشکده برق.
سید ایمان میرزایی –
محرم قلی زاده نیک پی –

چکیده:

در این مقاله یک روش جدید لایه نشانی برای ساخت حسگرهای گاز لایه نازک اکسید قلع ارائه شده است. برای ساخت لایه های نازک اکسید قلع، از محلول کلرید قلع به عنوان ماده اولیه و از شیشه به عنوان پایه در دمای ۴۰۰ درجه سانتیگراد استفاده شد. در این روش از امواج فرا صوت برای تبخیر محلول کلرید قلع در دمای اتاق استفاده گردید. پس از رشد لایه مورد نظر، عملیات ترمیم حرارتی به مدت ۳ ساعت در دمای ۵۰۰ درجه سانتیگراد بر روی نمونه ها صورت گرفت. حساسیت این حسگر نسبت به دود کاغذ و با غلظت های ppm 500-400 در دمای اتاق تا ۳۰۰ درجه سانتیگراد اندازه گیری شد. در این تحقیقات نتیجه گیری شد که نمونه های بدست آمده در این روش، در مقایسه با نمونه های قبلی دارای حساسیت بسیار بیشتری (در حدود ۱۰ الی ۱۵ برابر) نسبت به دود کاغذ می باشد.