سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی

تعداد صفحات: ۱۱

نویسنده(ها):

ضرغام اسداللهی – مرکز تحقیقات هسته ای کرج
پروین بلاش آبادی – مرکز تحقیقات هسته ای کرج
عبدالجواد نوین روز – مرکز تحقیقات هسته ای کرج
محمد رضا قاسمی – مرکز تحقیقات هسته ای کرج

چکیده:

دستگاه کندوپاش مغناطیسی با دوتارگت جهت تهیه لایه های نازک چند پشته به ویژه لایه های نازک جاذب انرژی خورشیدی (سرمت) طراحی و ساخته شد . این دستگاه از اجزاء و قسمت های مختلفی شامل
محفظه استوانه ای و تجهیزات آن، دو تارگت استوانه ای (کاتد) و تجهیزات مربوط به آن و نگهدا رنده زیر لایه و اجزاء آن تشکیل شده است. محفظه خلاء استوانه ای از جنس فولاد زنگ نزن با طول ۶۵۰ و قطر داخلی ۵۵۰ میلی متر است . این سیستم لایه نشانی شامل دو تارگت استوانه ای به طول ۵۵۰ و قطر ۵۰ میلیمتر میباشد که به طور مستقل عمل می کنند. داخل هر تارگت لوله ای، آهنرباهائی دائمی حلقوی شکل با شدت میدان مغناطیسی ۲۹۰ گوس قرار دارند . در طی عمل لایه نشانی زیر لایه ها روی نگهدارنده نصب میگردند و برای تشکیل پوشش های یکنواخت زیرلایه ها به دور محور محفظه می چرخند . چرخش نگهدارنده زیرلایه ها توسط موتوری با دور متغیر و قابل تنظیم (۱۸-۳ دور در دقیقه) انجام میگیرد . جهت تغذیه سیستم پراکنش از دو منبع تغذیه با ورودی سه فاز برق شهر و خروجی DC منفی با ولتاژ قابل تنظیم ۱۰۰۰V- و جریان حداکثر ۱۲A آمپر استفاده میشود. طراحی منبع تغذیه مخصوص محیط پلاسما بوده و به گونه ای است که در موقع عمل لایه نشانی دارای پایداری در توان بالا و ثبات ولتاژ خروجی در حین کار و عملکرد مناسب در مقابل جریان های لحظه ای شدید است . چند لایه های نازک آلومینیم و مس روی زیرلایه های شیشه ای در فشا ر ۱ پاسکال و جریان کاتد ۴ آمپر و ولتاژ کاتد ۶۰۰ ولت انباشت شده است . آنالیزهای پراش اشعه ایکس (XRD) و میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) برای تعیین فازهای کریستالی و مطالعه مرفولوژی لایه ها مورد استفاده قرار گرفته است . پروفایل عناصر توسط دستگاه اسپکتروسکوپی نشری تخلیه نورانی (GD-OES) تعیین گردیده است.