سال انتشار: ۱۳۸۵

محل انتشار: دومین کنفرانس ملی خلاء

تعداد صفحات: ۳

نویسنده(ها):

داود کلهر – دانشکده فیزیک، دانشگاه علوم پایه دامغان
فرهاد ایمانی – مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران
وحید مساحتی – مرکز فناوری خلاء بالا، جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، تهران

چکیده:

در این مقاله که در سه بخش ارائه م یشود ابتدا خلاصه مطالعات انجام شده برروی چشم ههای یونی توضیح داده شده و سپس چگونگی طراحی یک چشمه یون مناسب برای فرآین دهای لای هنشانی، تشریح گردیده است. در بخش سوم آزمایش های ی که به منظور بررسی کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی برای تولید یوناکسیژن انجام شده توضیح داده شده است. لای ههای نازک اپتیکی In2O و ۳ Ti2O 3 در حضور یون اکسیژن تهیه و خواص مکانیکی و اپتیکی آنها بررسی شده کهمؤید کیفیت و عملکرد دستگاه چشمه یونی می باشد